Kas ir ULPA filtrs? Kā tas atšķiras no HEPA un kur katrs no tiem pieder

HEPA filtrs saskaņā ar EN 1822 parasti attiecas uz H13 vai H14. ULPA filtrs attiecas uz U15, U16 vai U17. Lēciens no H14 uz U15 uz papīra izskatās mazs, taču iespiešanās ziņā tas ir nozīmīgs solis. H14 pieļauj maksimālo kopējo iespiešanos 0,005%, savukārt U15 samazina to līdz 0,0005%. Tas ir pieļaujamās iespiešanās samazinājums par 10 reizēm.

Tas ir pirmais, kas pircējiem jāatceras:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

• Testa pamatā ir MPPS, nevis vienkāršs 0,3 μm mārketinga paziņojums

Lielāka efektivitāte parasti nozīmē stingrāku piesārņojuma kontroli, kā arī lielāku sistēmas jutību pret gaisa plūsmas dizainu un spiediena kritumu

EN 1822 efektivitātes klases

Saskaņā ar EN 1822 bieži norādītās augstas efektivitātes klases ir:

•H13: lielāka vai vienāda ar 99,95% kopējo efektivitāti

•H14: lielāka vai vienāda ar 99,995% kopējo efektivitāti

•U15: lielāka vai vienāda ar 99,9995% kopējo efektivitāti

•U16: lielāka vai vienāda ar 99,99995% kopējo efektivitāti

•U17: lielāka vai vienāda ar 99,999995% kopējo efektivitāti

Tajā pašā klašu tabulā ir iekļautas arī vietējās efektivitātes/iekļūšanas robežas, kurām ir nozīme, ja noplūžu skenēšana ir daļa no pieņemšanas prasības.

Šeit sākas apjukums.

Tirgū daudzas ULPA datu lapas joprojām raksturo veiktspēju kā 99,9995% pie 0,12 μm. AAF produktu literatūra to dara tieši ULPA moduļiem un kastes filtriem. Šis formulējums joprojām ir izplatīts un pazīstams daudziem inženieriem. Bet formālā klasifikācijas loģika saskaņā ar EN 1822 / ISO 29463 ir balstīta uz MPPS testēšanu. Tas nozīmē, ka drošākais veids, kā salīdzināt produktus, ir:

• Vispirms pārbaudiet klasi: H14, U15, U16, U17

•Apstipriniet testa standartu: EN 1822 / ISO 29463

•Pēc tam pārskatiet, kā piegādātājs datu lapā norāda izmērīto efektivitāti

Ko īsti nozīmē U15 lēciens

Mūsu inženieri bieži redz, kā pircēji izturasU15kā "tikai nedaudz labāk nekā H14." Tas ir labāks par to. Pieļaujamā kopējā iespiešanās vērtība samazinās par vienu zīmi aiz komata. Tīrās telpas izteiksmē tas ir svarīgi, ja process jau notiek defektu līmenī, nevis tikai telpas-komforta līmenī.

Veselības aprūpe un operāciju zāles: mērķis ir infekciju kontrole, nevis vafeļu raža

Veselības aprūpes projektēšanā galvenās rūpes ir kontrolēt ar gaisu pārnēsāto infekcijas risku, ķirurģiskās{0}}vietas piesārņojumu, spiediena attiecības un tīru gaisa plūsmu pār kritisko zonu. ASHRAE veselības aprūpes vadlīnijās teikts, kaStandarts 170 pieprasa HEPA filtrus tikai aizsargājošās-vides telpās, ne visās veselības aprūpes jomās. Operāciju zālēs uzsvars tiek likts uz padeves difuzora bloku, gaisa plūsmas modeli un telpas spiedienu. Tāpēc diskusijas par veselības aprūpi parasti koncentrējas uzHEPA, nevis ULPA.

Ir veselības aprūpes produkti, kas piedāvā papildu ULPA veiktspēju. Camfil operāciju-teātru ventilācijas literatūrā ir minēti papildu ULPA filtri dažām sistēmām. Bet tas nemaina plašāko noteikumu:standarta veselības aprūpes etalons ir HEPA{0}}pakāpes filtrēšana, savukārt ULPA ir īpašs gadījums, nevis noklusējuma atbilde.

Pusvadītāju tīrās telpas ir dažādas. Camfil pusvadītāju norādījumi apraksta fabs, kuru mērķis ir ISO 1. klases daļiņu līmenis, kā arī stingru gaisa molekulārā piesārņojuma (AMC) kontroli. Tas arī izceļ HEPA un ULPA filtru izmantošanu tādās lietojumprogrammās kā litogrāfija, kodināšana, difūzija, metalizācija, jonu implantācija, pārbaudes instrumenti un tīklveida vai plāksnīšu uzglabāšana. MANN+HUMMEL apraksta arī FFU sistēmas tīrām telpām, izmantojot H14 līdz U17 elementus.

Tāpēc pusvadītāju pircēji bieži pāriet no HEPA uz ULPA:

•kritiskie daļiņu izmēri ir mazāki

•ražas zudums ir tieši saistīts ar nanomēroga piesārņojumu

• instrumenti un mini{0}}vide bieži vien ir jākontrolē stingrāk nekā apkārtējā iekārta

•Gaisa molekulārais piesārņojums ir svarīgs līdzās daļiņām

Vienkāršs noteikums:
•Ja telpa aizsargā pacientu un personāla darbplūsmu, HEPA parasti ir atskaites punkts.
• Ja telpā tiek aizsargāta vafele, maska, tīklojums vai uzlabots apstrādes rīks, ULPA kļūst daudz izplatītāks.

Nē. Ne automātiski.

Labāks filtrs uz papīra ne vienmēr ir labāka inženierijas izvēle šajā jomā.

Pircējiem vajadzētu arī salīdzināt:

•Sākotnējā pretestība

•pieļaujamais galīgais spiediena kritums

•ventilatora jauda un enerģijas izmaksas

•gaisa plūsmas vienmērīgums

• aizzīmogošanas un skenēšanas-pārbaudes prasības

•izplūdoša uzvedība

•pielietošanas risks, ja filtrs aizsērē ātrāk vai liek pārveidot gaisa sistēmu

Mūsu inženieri bieži redz, ka ULPA ir norādīts, kur H14 būtu izpildījis reālās procesa prasības ar zemāku sistēmas pretestību un zemākām ekspluatācijas izmaksām. Notiek arī pretēja kļūda: HEPA tiek kopēts pusvadītāju vai mikroelektronikas piedāvājumā tikai tāpēc, ka tas ir pazīstamāks termins. Neviena saīsne nav laba iepirkuma prakse.

Šis punkts visu laiku tiek ignorēts.

Pusvadītāju un mikroelektronikas vidē problēma nav tikai daļiņas. Tā ir arī molekulārā izdalīšanās no paša filtra. Camfil saka, ka tā pusvadītāju priekšfiltru klāsts ir izstrādāts, lai aizsargātu HEPA filtrus, neizlaižot boru, un tā HEPA/ULPA produkti pusvadītāju lietošanai ir paredzēti ļoti zemai izplūdes gāzēm. AAF norāda to pašu no mikroelektronikas puses, norādot, ka bora -nesaturošs un ķīmiski inertais filtra materiāls ierobežo gāzu izdalīšanos-, kas var sabojāt mikroelektroniku. Hollingsworth & Vose arī apraksta savus zema-bora mikrostikla materiālus, kas paredzēti pusvadītāju tīrām telpām.

Pusvadītāju ražošanā piesārņojuma pēdas nav teorētiskas. Gaisa molekulārais piesārņojums un ķīmiskās atliekas var ietekmēt vafeļu virsmas, optiku un apstrādes instrumentus. Camfil skaidri norāda, ka nevēlamās reakcijas, kurās iesaistītas skābes, bāzes, organiskās vielas, ugunsizturīgās vielas undopantivar radīt defektus un samazināt iekārtas efektivitāti. Bors ir piedevas elements pusvadītāju apstrādē, tāpēc nekontrolēta bora izdalīšanās no materiāliem, kas nonāk gaisa ceļā, ir tieši tā lieta, no kuras ražotāji cenšas izvairīties.

Tāpēc elektronikas pircēji bieži jautā:

•zems{0}}borsplašsaziņas līdzekļi

•zema{0}}gāzes izdalīšanāslīmvielas un komponenti

• ULPA vai augstākās{0}}HEPA/ULPA moduļi, kas īpaši izstrādāti mikroelektronikai

•tīru telpu filtri, kas pielāgoti litogrāfijas, kodināšanas, plānas plēves vai pārbaudes rīku videi

Tas ir svarīgi. Filtrs ar zemu-bora saturu nav nepieciešams katrā tīrajā telpā.

Tas kļūst svarīgi, ja:

process ir pusvadītāju vai mikroelektronika

pircējs pārvalda AMC un materiālu izplūdi

Fab vai instrumentu izgatavotājam ir stingras ķīmiskās tīrības specifikācijas

piesārņojuma pēdas izmaksas ir ārkārtīgi augstas

Daudzām farmācijas, slimnīcu vai standarta rūpnieciskām tīrām telpām šī prasība var nekad neparādīties piedāvājumā.

1. HEPA pie 0,3 μm salīdzināšana ar ULPA pie 0,12 μm, nepārbaudot standartu

Tas ir ābolu{0}}līdz-apelsīnu salīdzinājums, ja vien neapstiprināt norādīto pārbaudes bāzi un klasi. EN 1822 / ISO 29463 klasifikācija ir balstīta uz MPPS.

2. Norādīt ULPA, jo tas "izklausās drošāk"

Augstāka efektivitāte nav bezmaksas jauninājums, ja sistēma nevar absorbēt spiediena kritumu vai ja procesam tas nav vajadzīgs.

3. Izplūdes gāzes un ķīmiskās tīrības ignorēšana elektronikā

Pusvadītāju lietojumos ir svarīgi paši filtra materiāli. Konstrukcija ar zemu-bora saturu un zemu-izplūdes gāzēm var būt tikpat svarīga kā efektivitātes klase.

4. RFQ ierakstīšana "ULPA filtrs" bez klases

Nopietnam piedāvājumam vajadzētu teiktU15, U16 vai U17, kā arī testa standarts un izmērs.